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真空吸盘
真空吸盘
多孔陶瓷吸盘(Chuck Table)
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微孔陶瓷与带气道金属、工程塑料、陶瓷底座组合,通过负压固定晶圆;
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微孔真空吸盘,一般气孔可调整到2~30um大小,孔隙率可以在5%-50%范围。
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主要在晶圆减薄、平整、清洗、切割工序应用。