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陶瓷喷嘴
陶瓷喷嘴
产品概述
由于工艺气体是半导体制程必须要素之一,如何控制其精确出气是影响 产品良率的关键,陶瓷喷嘴作为工艺气体流入反应腔室的最后一道载体 ,其所扮演的角色至关重要。 目前在先进制程中氧化钇陶瓷喷嘴逐步替代氧化铝材质
用途和功能
•
工艺气体流入反应腔室的最后一道载体
•
均匀出气,提升工艺均匀性
性能特点
•
耐磨、耐高温、耐腐蚀、隔热性能好、绝缘、环保