产品概述
• 半导体前道真空设备上应用最多的材质耗材之一
• ESC/Heater/Pedestal/Showerhead外围部件，组合安装
• 在高温/腐蚀性特气工艺腔体普遍使用
• 使用寿命长，大大提升设备维护保养周期
各种陶瓷环的功能
• Focus ring： 聚焦环，使等离子体聚合向圆心
• Ceramic collar：阻止wafer滑片，保护ESC边缘涂层
• Isolator ring： 工艺时绝缘隔离ESC
• Centering ring：固定wafer圆心位置，使其不偏边
• Ceramic cover：遮挡下腔体部件免受等离子体轰击
• Edge ring： 增大下电极表面积
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