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陶瓷窗&球形罩

 功能描述

• 吸附工艺生产过程中的反应生成物，降低inline defect发生频率，提升良率，延长PM周期

• 辅助密封，以确保反应腔室内的真空完整性

 工艺技术

• 大尺寸不规则腔体陶瓷部件的一次等静压成型和生坯加工，烧成方面采用特殊烧成方式

• 电性能控制(介电常数和介质损耗)：采用高纯度原料，对过程进行了杂质引入量管控

• 表面颗粒度控制：产品表面微裂纹的控制，确保客户使用周期内不会有颗粒产生，降低工艺缺陷的概率

 性能特点

• 耐磨、耐高温、耐腐蚀、隔热性能好、绝缘、环保

 功能描述

• 吸附工艺生产过程中的反应生成物，降低inline defect发生频率，提升良率，延长PM周期

• 辅助密封，以确保反应腔室内的真空完整性

 技术参数

• 涂层厚度:50um-400um都可以做，

• 表面粗糙度不抛光Ra4-Ra6，抛光Ra0.1-Ra0.2um

• 空隙率＜3%

• 附着力＞15Mpa

 性能特点

• 耐磨、耐高温、耐腐蚀、隔热性能好、绝缘、环保

 涂层选择

• Y2O3、YAG、YAM、YF3 、YOF